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Type: Patente
Title: Processo De Obtenção De Sensores De Pressão E Fontes De Elétrons à Base De Carbono E Controlados Por Pressão, E Material De Carbono Obtido Para Confecção Dos Dispositivos
Author: Marques Francisco Das Chagas
Poa Chun Hwa Patrick
Lacerda Rodrigo Gribel
Silva Sembukuttiarachilage Rav
Abstract: Processo de obtenção de novos dispositivos eletroeletrônicos, em geral, especialmente sensores de pressão e fontes de elétrons controlados por pressão e outras aplicações potenciais, onde os dispositivos são confeccionados com um novo material a base de carbono, chamado de carbono amorfo nanoestruturado, cujas propriedades eletrônicas, tais como a emissão de campo e a condutividade elétrica, são dependentes da pressão, e onde os dispositivos são compostos por filmes de carbono amorfo nanoestruturado ou nC a-C, os quais podem ser preferencialmente preparados pela técnica de deposição conhecida como IBAD (lon Beam Assisted Deposition), ou deposição assistida por feixe de íons usando duas fontes de íons to tipo Kauffinan, e processo de obtenção de material carbono amorfo nanoestruturado ou nC a-C.
Rights: aberto
Date Issue: 25-May-2004
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