Please use this identifier to cite or link to this item: http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/277934
Type: TESE
Title: Construção de uma evaporadora acoplada a um elipsômetro
Author: Pohl, Alexandre de Almeida Prado
Advisor: Dispert, Helmut Hans, 1947-
Dispert, Helmut H.
Abstract: Resumo: Foi construída uma evaporadora à vácuo, a qual foi acoplada um elipsômetro fotométrico automático. O sistema permite estudos In situ de propriedades ópticas de filmes evaporados. São descritos detalhes da construção e operação da evaporadora, assim como detalhes da influência das janelas ópticas nas medidas elipsométricas. A verificação do desempenho do aparato experimental foi realizada depositando-se filmes de diversos metais e analisando-se os resultados para as respectivas constantes ópticas. A cinética de oxidação dos filmes recém-evaporados pôde ser acompanhada, revelando a potencial Idade do Instrumento no estudo da dinâmica de superfícies

Abstract: A vacuum evaporator apparatus coupled to na automatic fotometric ellipsometer was built. The system allows in situ studies of optical properties of evaporated films. Details on its construction and operation, as well as the influence of the optical windows in the ellipsometric measurements, are described. The performance evaluation of the apparatus was accomplished by evaporating films of several metals and by analyzing the results obtained for their optical constants. The kinetics of oxidation of freshly evaporated films was monitored, revealing the potentiality of the instrument in the study of surface dynamics
Subject: Elipsometria
Superfícies (Física)
Language: Português
Editor: [s.n.]
Date Issue: 1987
Appears in Collections:IFGW - Dissertação e Tese

Files in This Item:
File SizeFormat 
Pohl_AlexandredeAlmeidaPrado_M.pdf915.69 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.