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Type: TESE
Title: Anteprojeto de um implantador de ions para 40 KeV
Author: Damiani, Furio, 1943-2016
Advisor: Mammana, Carlos Ignacio Zamitti, 1941-
Mammana, Carlos
Abstract: Resumo: Este trabalho documenta a experiência obtida no projeto e construção de um implantador de íons no LME-EPUSP e o subsequente projeto de um implantador de íons para o Laboratório de Eletrônica e Dispositivos da Faculdade de Engenharia da UNICAMP. Foram concluÍdos os projetos e desenhos de execução das partes componentes do implantador do LED tendo sido introduzidas diversas modificações baseadas na experiência anteriormente citada e também nas características propostas para o implantador do LED. Entre estas podemos citar a elaboração de uma fonte de íons de concepção mais simples a utilização de um espectrômetro massa tipo setor magnético, uma câmara de alvo aperfeiçoada. O sistema de vácuo é totalmente automático

Abstract: Not informed
Subject: Implantação iônica
Ionização
Language: Português
Editor: [s.n.]
Date Issue: 1976
Appears in Collections:FEEC - Tese e Dissertação

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