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Type: DISSERTAÇÃO
Degree Level: Mestrado
Title: Estudo do comportamento eletrico de dispositivos semicondutores fabricados com filmes finos de a-C:H e a-C:H:N obtidos por RF-PECVD
Author: Pires, Rodrigo Porto
Advisor: Braga, Edmundo da Silva, 1945-
Subject: Filmes finos
Carbono
Diodos
Nitrogênio
Heteroestruturas
Language: Português
Editor: [s.n.]
Date Issue: 2003
Appears in Collections:FEEC - Tese e Dissertação

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