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Type: TESE
Title: Desenvolvimento de um gerador de plasma de microondas para uso em CVD e sua aplicação na sintese de filmes de carbono amorfo hidrogenado
Author: Miyao, Yamato
Advisor: Braga, Edmundo da Silva, 1945-
Subject: Deposição química de vapor
Filmes finos de diamantes
Plasma de microondas
Language: Português
Editor: [s.n.]
Date Issue: 2004
Appears in Collections:FEEC - Dissertação e Tese

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