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Type: TESE
Degree Level: Doutorado
Title: Desenvolvimento de um gerador de plasma de microondas para uso em CVD e sua aplicação na sintese de filmes de carbono amorfo hidrogenado
Author: Miyao, Yamato
Advisor: Braga, Edmundo da Silva, 1945-
Subject: Deposição química de vapor
Filmes finos de diamantes
Plasma de microondas
Language: Português
Editor: [s.n.]
Citation: MIYAO, Yamato. Desenvolvimento de um gerador de plasma de microondas para uso em CVD e sua aplicação na sintese de filmes de carbono amorfo hidrogenado. 2004. 95f. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/260248>. Acesso em: 3 ago. 2018.
Date Issue: 2004
Appears in Collections:FEEC - Tese e Dissertação

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