Please use this identifier to cite or link to this item: http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/260247
Type: TESE
Degree Level: Doutorado
Title: Contribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD
Author: Balachova, Olga Viatcheslavovna
Advisor: Braga, Edmundo da Silva, 1945-
Subject: Semicondutores amorfos
Filmes finos de diamantes - Propriedades elétricas
Membranas (Tecnologia)
Medidas elétricas
Language: Português
Editor: [s.n.]
Citation: BALACHOVA, Olga Viatcheslavovna. Contribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD. 2001. 92p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/260247>. Acesso em: 28 jul. 2018.
Date Issue: 2001
Appears in Collections:FEEC - Tese e Dissertação

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