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Degree Level: Mestrado
Title: Processos termicos rapidos RTO / RTA para fabricação de dispositivos MOS
Title Alternative: Rapid thermal process RTO / RTA for MOS devices fabrication
Author: Cavarsan, Fabio Aparecido
Advisor: Diniz, José Alexandre, 1964-
Subject: Dielétricos
Filmes finos - Propriedades elétricas
Semicondutores amorfos
Semicondutores - Difusão
Filmes semicondutores
Transistores de efeito de campo
Language: Português
Editor: [s.n.]
Date Issue: 2005
Appears in Collections:FEEC - Tese e Dissertação

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