Please use this identifier to cite or link to this item: http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/259289
Type: TESE
Title: Processos termicos rapidos RTO / RTA para fabricação de dispositivos MOS
Title Alternative: Rapid thermal process RTO / RTA for MOS devices fabrication
Author: Cavarsan, Fabio Aparecido
Advisor: Diniz, José Alexandre, 1964-
Subject: Dielétricos
Filmes finos - Propriedades elétricas
Semicondutores amorfos
Semicondutores - Difusão
Filmes semicondutores
Transistores de efeito de campo
Language: Português
Editor: [s.n.]
Date Issue: 2005
Appears in Collections:FEEC - Tese e Dissertação

Files in This Item:
File SizeFormat 
Cavarsan_FabioAparecido_M.pdf1.8 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.