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Type: DISSERTAÇÃO
Degree Level: Mestrado
Title: Projeto, microfabricação e caracterização de defletor de luz de silicio acionado por indução
Author: Barbaroto, Pedro Ricardo
Advisor: Doi, Ioshiaki, 1944-
Subject: Scanner ótico
Dispositivos eletromecânicos
Litografia
Fotolitografia
Indução eletromagnética
Language: Português
Editor: [s.n.]
Date Issue: 2002
Appears in Collections:FEEC - Tese e Dissertação

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