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dc.contributor.CRUESPUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASpt_BR
dc.identifier(Broch.)pt_BR
dc.descriptionOrientador : Ioshiaki Doipt_BR
dc.descriptionDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computaçãopt_BR
dc.format.extent89p. : il.pt_BR
dc.format.mimetypeapplication/pdfpt_BR
dc.languagePortuguêspt_BR
dc.typeDISSERTAÇÃOpt_BR
dc.titleDesenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficiept_BR
dc.contributor.authorNeli, Roberto Ribeiropt_BR
dc.contributor.advisorDoi, Ioshiaki, 1944-pt_BR
dc.contributor.institutionUniversidade Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computaçãopt_BR
dc.subjectNitreto de silíciopt_BR
dc.subjectMembranas (Tecnologia)pt_BR
dc.subjectPontes suspensaspt_BR
dc.subjectFilmes finospt_BR
dc.publisher[s.n.]pt_BR
dc.date.issued2002pt_BR
dc.identifier.citationNELI, Roberto Ribeiro. Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie. 2002. 89p. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/258962>. Acesso em: 1 ago. 2018.pt_BR
dc.description.degreelevelMestradopt_BR
dc.date.available2018-08-01T09:31:11Z-
dc.date.accessioned2018-08-01T09:31:11Z-
dc.description.provenanceMade available in DSpace on 2018-08-01T09:31:11Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Neli_RobertoRibeiro_M.pdf: 3940208 bytes, checksum: f11ee9eb60bc457e66e08e1d5feb6cfc (MD5) Previous issue date: 2002en
dc.identifier.urihttp://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/258962-
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