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Type: DISSERTAÇÃO
Degree Level: Mestrado
Title: Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie
Author: Neli, Roberto Ribeiro
Advisor: Doi, Ioshiaki, 1944-
Subject: Nitreto de silício
Membranas (Tecnologia)
Pontes suspensas
Filmes finos
Language: Português
Editor: [s.n.]
Citation: NELI, Roberto Ribeiro. Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie. 2002. 89p. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/258962>. Acesso em: 1 ago. 2018.
Date Issue: 2002
Appears in Collections:FEEC - Tese e Dissertação

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