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Type: Artigo de periódico
Title: Hot-filament metal oxide deposition (HFMOD): a novel method for depositing thin films of metallic oxides
Author: Rouxinol, F. Paulo
Trasferetti, B. Cláudio
Landers, Richard
Moraes, Mário A. Bica de
Abstract: This short report describes a novel method for the synthesis of metal oxide thin films. The experimental setup consists of a metal filament installed inside a vacuum chamber. The filament can be heated by an ac power supply while oxygen is admitted into the chamber using a mass flowmeter. From reactions between oxygen and the heated metal filament, volatile oxide species, Me xOy, where Me is the metal, can be formed, condensing on a nearby substrate. We have observed that thin films of WxOy and Mo xOy can be satisfactorily deposited by this novel method. Although several techniques were used to characterize the oxides, this note emphasizes the results obtained by X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS).
O presente artigo descreve um novo método para a síntese de filmes finos de óxidos metálicos. Um filamento de metal, que pode ser aquecido por uma fonte de corrente alternada é instalado numa câmara de vácuo. Por meio de um fluxômetro de massa, oxigênio pode ser admitido no interior da câmara. Da reação entre o oxigênio e o metal do filamento aquecido, espécies de óxidos voláteis Me xOy, onde Me é o metal, são formadas, se condensando num substrato colocado próximo ao filamento, formando o filme. Foi observado que os filmes finos de WxOy e Mo xOy podem ser depositados de forma satisfatória por este novo método. Embora várias outras técnicas de análise tenham sido usadas para caracterizar os óxidos, esta nota enfatiza os resultados obtidos por espectroscopia de fotoelétrons de raio-X (XPS).
Subject: WO3
MoO3
thin films
XPS
CVD
Editor: Sociedade Brasileira de Química
Rights: aberto
Identifier DOI: 10.1590/S0103-50532004000200026
Address: http://dx.doi.org/10.1590/S0103-50532004000200026
http://www.scielo.br/scielo.php?script=sci_arttext&pid=S0103-50532004000200026
Date Issue: 1-Apr-2004
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